測量原則 |
探針法 |
輸入 |
BFW 無導塊系統 |
測量范圍 mm |
+/- 250 µm(高達 +/- 750 µm,3x 測桿長度) |
輪廓分辨率 |
測量范圍 +/- 250 µm:8 nm |
過濾器符合 ISO/JIS 標準 |
ISO 11562 標準高斯濾波 |
采樣長度數量符合 ISO/JIS |
1-5 |
接觸速度 |
0,2 mm/s; 1,0 mm/s |
測量力 (N) |
0.75 mN |
重量驅動單元 |
約 0.9 kg |
重量測量儀 |
約 1.0 kg |
表面參數 |
超過 50 種符合當前 ISO / JIS 或 MOTIF (ISO 12085) 標準的表面參數可用于 R-、P- 和 W |
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